浙江芯動(dòng)科技有限公司位于浙江省嘉興市,是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)加工企業(yè)。公司擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線,工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過(guò)程。
芯動(dòng)擁有1000平米超凈室,其中光刻區(qū)、鍵合區(qū)共150平米,凈化等級(jí)為十級(jí),刻蝕區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、薄膜區(qū)共850平米,凈化等級(jí)為百級(jí),是目前國(guó)內(nèi)少數(shù)百級(jí)、十級(jí)潔凈室,在高端MEMS傳感器制造廠房中屬先進(jìn)水平,擁有完整的MEMS工藝設(shè)計(jì)、加工平臺(tái),可為國(guó)內(nèi)外同行提供微納器件研發(fā)、工藝代工、工藝測(cè)試等技術(shù)服務(wù)。
公司自成立以來(lái),共實(shí)現(xiàn)300余項(xiàng)各類敏感芯片的研發(fā)、驗(yàn)證工作,為國(guó)內(nèi)100余個(gè)科研院所、高校以及民營(yíng)企業(yè)的芯片制造提供了專業(yè)化支撐;也為多家企業(yè)快速實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代做出了貢獻(xiàn)。