6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
350kPa a精度0.001%FS
3.5MPa a/g 精度 0.01%FS
測試能力：壓力標(biāo)定和測試
壓力標(biāo)校系統(tǒng)
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